定义

电感耦合等离子体质谱法（inductively coupled plasma mass spectrometry, ICP-MS），指一种痕量(10^-6～10^-9)和超痕量(10^-9～10^-15)的元素分析方法。用氩形成的等离子体使待测元素原子化和离子化，如此形成的离子通过一系列的锥孔，进入高真空质量分析室，元素的同位素由其质荷比(m/e)鉴别，元素的量由特征的质谱峰强度计算。