定义

离子溅射机 ( ion sputtering device ) ，指利用物理气相沉积的方法在真空室内通入惰性气体（如氩），使之在高压下辉光放电，气体离子在强电场作用下轰击膜料制成的阴极靶，使表面的原子被溅射出来，沉积在基体上成膜的设备。